*�Ĝy(c��)ԇԭ����ϵ�y(t��ng)����•��ԭ�����ɶ�������(sh��)�r(sh��)�ھ��y(c��)��SF6й©���w�������˷��˂��y(t��ng)�y(c��)��������ؓ(f��)늕���늷����u�؂�������ֻ�ܶ����Єe�Ƿ�Խ�޵�ȱ�ݣ��܉��(zh��n)�_�õ����w��SF6������ 
�߿ɿ��ԣ�ϵ�y(t��ng)�����p���̎����������Ч�˷��˜ضȡ���Ȍ�(du��)�y(c��)���Y(ji��)����Ӱ푣������˂��y(t��ng)�a(ch��n)Ʒ��ȱ�ݡ� 
�����������ܣ��O(ji��n)��ܛ������������SF6���w����׃��څ��(sh��)������Ч�����\(y��n)���O(sh��)��Ġ�B(t��i)���������A(y��)�����ã��@Ҳ�ǂ��y(t��ng)���Ԯa(ch��n)Ʒ�o�������ġ� 
���ؙz�y(c��)���ܣ���Ҫᘌ�(du��)SF6���wй©��ȱ����r�M(j��n)�Йz�y(c��)�������Мضȡ���ȵȭh(hu��n)����(sh��)��(j��)���o���z�y(c��)���ܣ�*���ϡ�늘I(y��)��ȫ����Ҏ(gu��)�̡�Ҫ�� 
���ڬF(xi��n)��(ch��ng)��(b��o)�����g(sh��)��΢���z�y(c��)���g(sh��)�ܰl(f��)�����ڬF(xi��n)��(ch��ng)����(b��o)����ָʾ���wй©λ�ã����r(sh��)֪ͨΣ�U(xi��n)���c(di��n)��(n��i)�ˆT��ɢ�����Ҽ�����й©Դ�����o(h��)�\(y��n)���O(sh��)�䡣 
�F(xi��n)��(ch��ng)�����O(sh��)Ӌ(j��)�� һ����|�B�����вɼ��������C(j��)���ɷ����ɽM�ϣ����кܸߵĬF(xi��n)��(ch��ng)�m��(y��ng)�ԡ� 
���c(di��n)�M�W(w��ng)�z�y(c��)�� zui��128�c(di��n)ͬ�r(sh��)�z�y(c��)���M��F(xi��n)��(ch��ng)�h(hu��n)����Ҫ����ߙz�y(c��)�ɿ��ԡ� 
�b�y(c��)���b�أ�ϵ�y(t��ng)zui�����И�(bi��o)��(zh��n)�ӿڣ���(sh��)��(j��)��ͨ�^RTU���͵��h(yu��n)���������ģ���������Ҳ��ֱ���h(yu��n)�̲�ԃ������ϵ�y(t��ng)����(sh��)�F(xi��n)�b�y(c��)���b�ع��ܡ� 
�O(ji��n)��ܛ�������x�䣬���Д�(sh��)��(j��)�M�B(t��i)���D�νM�B(t��i)��������������(sh��)��(j��)��(b��o)�����vʷ��(sh��)��(j��)��ԃ�ȹ��ܡ� 
�L�����O(sh��)Ӌ(j��)�� ������Æ�Ƭ�C(j��)�Ĺ����`���ԣ���������ȡ�gЪʽ�����y(c��)�����������˂������Ĺ�����(w��n)���Ժ�ʹ�É����� 
�vʷ��(sh��)��(j��)ӛ䛺Ͳ�ԃ�����C(j��)���д�������(sh��)��(j��)�惦(ch��)�����ɴ惦(ch��)2�ꔵ(sh��)��(j��)��ͨ�^�Pӛ����X�����O(sh��)�M(j��n)�п�ݲ�ԃ�� 
�t��O(ji��n)ҕ���ܣ����x�䣬�z�y(c��)�����ˆT�M(j��n)�빤���������Ԅ�(d��ng)�Z����ʾ��(sh��)�r(sh��)�z�y(c��)�Y(ji��)�����ӏ�(qi��ng)�F(xi��n)��(ch��ng)�����ˆT��ֱ�^���X�� 
��S�o(h��)�O(sh��)Ӌ(j��)�� �M�ĵ�늚��O(sh��)Ӌ(j��)�����C(j��)�o���{(di��o)��(ji��)�������ߵȼ�(j��)��*��Ԫ�����x�ã���(y��u)���Ŀ��ɔ_���ܡ� 

���g(sh��)����(sh��) 
�(xi��ng)Ŀ ָ��(bi��o) 
�y(c��)������ 0��30000ppmv 
��(b��o)���c(di��n) ���ڜy(c��)��������(n��i)�O(sh��)�ã�Ĭ�J(r��n)1000ppmv 
�����`�� ±5%FS 
�؏�(f��)���`�� <5%FS 
���c(di��n)Ư�� <5%FS 
����Ư�� <5%FS 
�z�y(c��)��� 0��25% 
�����Ȉ�(b��o)���c(di��n) 18% 
����y(c��)������ <0.4%,O2��21%�r(sh��) 
�ضȜy(c��)������ -25��~+99�� 
��Ȝy(c��)������ 
0��99%RH